9月23日消息，近日，深圳稳顶聚芯技术有限公司（以下简称“稳顶聚芯”）宣布，该公司研发的首台国产高精度Stepper（步进式）光刻机顺利出厂。

亮相2025九峰山论坛，发布Stepper系列5款光刻机等共11款产品

值得注意的是，此前4月24日，在2025九峰山论坛暨化合物半导体产业博览会上，深圳稳顶聚芯举行了光刻机产品发布会。发布会上，稳顶聚芯介绍了公司Stepper光刻机系列，共五款产品，以及6款相关衍生模组产品共11款产品。

其中，前四款光刻机面向FAB（晶圆制造工厂）4/6/8英寸平台，最后一款面向高校科研领域支持1/2英寸。

WS180i1，分辨率达到0.8μm，同时具有高套刻精度、大曝光视场等特点，可应用于光通讯、功率器件、MEMS、先进封装等领域。

WS180i2，具备0.8μm高分辨率，高套刻精度，通常适用于Micro-LED、功率器件等领域

WS180i3，分辨率1.5μm，大曝光视场，适用于LED、MEMS、功率器件前后道工艺等

WS235i，分辨率0.35μm，具备高套刻精度特点，应用于功率、射频器件等领域

WS180iC，分辨率为1.0μm，主要面向高校科研应用。

除了步进式光刻机之外，稳顶聚芯还开发了相关衍生模组产品，包括品晶圆传输机械手（用于小范围复杂环境内高速准确传输晶圆）、晶圆寻边器（用于晶圆定位）、主动减震系统（精密加工）、超精密光学成像质量评价系统、套刻及关键尺寸光学量测设备（量测精度可达10nm）、薄膜测量系统（膜厚测量精范围10nm-100μm）。

在发布会最后，稳顶聚芯也提出了企业的愿景，希望打破ASML、尼康、佳能，一超两强的局面，实现西有ASML、东有Wonder Sight。

关于深圳稳顶聚芯

根据网上公开资料显示，深圳稳顶聚芯技术有限公司（英文：Wonder Sight）成立于2023 年，是集半导体核心装备研发、制造和销售于一体的高科技公司。公司产品聚焦于半导体工艺制程装备开发与制造，广泛应用于功率器件、光电器件、MEMS、微波射频等半导体及泛半导体制造领域。公司在深圳拥有 2000 多平米的研发及生产厂房，包括干级装配调测洁净间、百级和十级实验室洁净间。

公司核心团队 85% 以上具有国内外知名大学研究生学历，且均为来自国内半导体行业顶尖科研院所及全球 500强企业。公司核心团队研发的集成电路工艺设备已通过知名集成电路制造商认证，获得了客户的高度好评。

根据天眼查显示，公司于2023年10月完成了普禾资本的A轮融资，2024年9月完成凯鼎投资A+轮融资。

据投资方普禾资本官网介绍，深圳稳顶聚芯技术有限公司成立于深圳，立足于成熟工艺制程中的半导体芯片制造装备的设计与制造，计划逐步开发出从中端到高端的系列产品，优先服务于汽车和新能源的功率半导体芯片制造领域，后续考虑服务IC芯片制造领域。

前期已完成第一代半导体芯片制造装备Mask Aligner（分辨率1-3m）的开发及批量化生产，实现了光学系统的设计与装调、工件台的设计与控制、操作系统的开发与应用以及准分子光源中的高压直流电源（HVPS）和全固态高压高功率电源（ASSP）的技术突破，形成了较完善的技术储备。公司核心团队来自行业领军企业，长期从事激光物理、光学、运动控制、电气工程、机械工程、材料科学等方面的研发工作，具备了深厚的理论功底和创新性产品开发思维和市场开拓能力。

稳顶聚芯2023年入选“深圳市2023年第十批国家级科技型中小企业认定”公示名单。公司完成了半导体芯片制造装备系统中核心光学部件的光学设计；突破了半导体芯片制造装备之魂——操作系统的国产化，完全不用再担心国外卡脖子；完成了半导体芯片制造装备中晶圆传输系统的技术路线的调研与设计；完成了半导体芯片制造装备中量测系统的设计。